空间分辨率：5μm（图表分辨率）。

最大样品尺寸：350x400mm。

样品台行程：300x350mm。

最大样品重量：5kg。

探测器倾斜角度：最大为 60°。

X 射线管最大输出：90kV。

放大倍数：约为 2-35 倍（动态图像最大为 127 倍）。

电源：200-240V AC。
主要功能

操作简便：操作界面布局全面改良，更加简洁、易懂，图像加大，提高了图像的易读性。测量功能也更加简单，运用自发研制的图像处理技术，将原来设定繁琐的测量参数进行自动最优化处理，一键操作即可获得测量结果。

图像清晰：采用平板探测器结合岛津的图像处理技术，可得到没有变形的清晰图像，有助于准确检测样品的内部结构和缺陷。

倾斜透视：能够从倾斜方向进行透视，发现垂直透视不能发现的不良点，扩大了检测范围和准确性。

多种功能辅助检测：具备图像采集编程功能，包括步进功能和教学功能，可用于电路板和电子元器件的缺陷检查。此外，还有自动判断软件，对线路板检查中的必检项目 BGA 气泡率和调节 IC 等焊料的面积比率做检测，并通过设定的评判标准自动判断，得出评断结果。

定位功能：可通过外部视图 CCD 相机的图像对样品台进行定位，方便快捷地将样品台移动到所需位置。