辉光放电光谱（Glow Discharge Optical Emission Spectrometry，GD-OES）和辉光放电质谱（Glow Discharge Mass Spectrometry，GD-MS）是两种以辉光放电（GD）为离子源/原子源的固体样品分析技术，辉光放电在低压惰性气体氛围中，样品作为阴极，与阳极之间施加直流（DC）或射频（RF）高压，使气体电离形成等离子体，等离子体中的正离子在电场作用下高速轰击样品表面，将样品原子溅射出来，与等离子体中的高能粒子（电子、离子）碰撞，部分被激发（外层电子跃迁），部分被电离（失去电子形成离子）。GD-OES检测激发态原子跃迁回基态时发射的特征光学光谱（与直读光谱仪OES原理类似），通过特征波长定性，强度定量；GD-MS检测电离产生的离子的质荷比（与质谱MS原理类似），通过质荷比定性，离子流强度定量。