配置瑞士进口HERZ(赫兹)减震平台，美国阿美泰克EDS，SPI喷金仪器，磁波消除仪。
性能指标

1、分辨率

高真空：30kV 下二次电子像（SE）分辨率优于 1.0nm，背散射电子像（BSE）分辨率优于 2.5nm；1kV 下二次电子像分辨率优于 3.0nm。

低真空：30kV 下二次电子像分辨率优于 1.3nm，3kV 下二次电子像分辨率优于 3.0nm，30kV 下背散射电子像分辨率为 2.5nm。

环境真空：30kV 下二次电子像分辨率优于 1.3nm。

2、加速电压：200V-30kV。

3、束流范围：1pA-200nA 连续可调。

4、放大倍数：6 倍到 250 万倍。

5、样品室真空度：高真空模式下优于 6×10⁻⁴Pa，低真空模式下 10-200Pa，环境真空模式下 10-4000Pa。

6、样品台：X/Y 轴行程为 110mm，Z 轴行程为 65mm，倾斜角度为 - 15° 到 + 90°，连续旋转 360°，重复精度为 3μm（X/Y 方向），五轴马达驱动，全对中样品台。
主要功能

多样品适应能力：具有高真空、低真空、环境真空三种模式，可适应各种样品，包括易放气、在高真空环境下不稳定、非导电和 / 或含水的样品。

多种成像功能：配备高真空模式二次电子检测器、低真空模式气体二次电子探头、环境真空模式气体二次电子探头、定向背散射电子探测器等，可进行二次电子成像、背散射电子成像等，获取样品的表面形貌和成分信息。

原位分析功能：可配备加热样品台（室温到 1400℃）和冷冻样品台（-20℃到 50℃），配合样品仓通气，实现样品原位变温气氛观察分析；还可实现冷冻、加热原位反应及真空转移，原位观察生物材料在冷冻过程或加热反应过程中材料的微观结构及成分变化。

成分分析功能：配有电制冷能谱仪系统，元素分析范围 Be4—U92，提供实时定量元素信息，具备元素定性、定量、线扫描、面分布功能，以及相 / 粒度分析功能。

其他功能：样品室配有红外 CCD 相机，可用于观察样品台高度；图像处理器支持最大 6144x4096 像素的图像，具有智能扫描、数字动画记录、直方图及图像测量等功能。