X射线荧光光谱仪(X-ray Fluorescence Spectrometer,简称XRF光谱仪)是一种快速的、非破坏式的物质测量仪器,用高速电子轰击原子的内层电子,使之处于高激发状态,同时外层的电子跃迁到缺少电子的内层轨道,在此过程中会伴随着以电磁波形式释放X射线,用X射线去轰击别的原子的内层电子,同样可产生X射线,这种X射线的能量较一次X射线低,波长也较长,称为二次X射线或X射线荧光,各种不同的元素都有本身的特征X射线荧光波长,可以作为定性分析的依据,而元素受激发射出来的特征X射线荧光的强度则取决于该元素的含量,这是定量分析的依据。