聚焦离子束显微镜（FIB）选择镓（Ga）作为离子源的原因在于其独特的物理和化学性质。镓金属因其高熔点、低蒸气压及良好的导电性，为FIB提供了稳定的离子源。高分辨率和操控性使其成为优选。此外，镓离子束在聚焦和操控方面也表现出色，能够满足FIB对高分辨率和高精度的要求。同时，镓离子源还具有易于获取、环保安全等优点，进一步增强了其在FIB中的应用优势。