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FIB(聚焦离子束)制样
满意度:99.5%
仪器型号thermoFisher Helios 5 UX
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服务周期4.0-7.0个工作日
测试须知
若样品含有磁性元素,请务必提前告知,确认是否可以制样。若发现以弱磁强磁充当非磁 或者 以强磁充当弱磁非磁,我们将无法安排您的实验,不承担以此造成的时间和样品损失;若因隐瞒样品真实情况造成仪器损伤,需按照实际情况进行赔付
1、固体、块体长宽最好小于10mm,高度小于5mm;粉末样品尺寸至少在3微米以上才能进行FIB制样。
2、样品要求导电性良好,如果导电性比较差的话需要进行喷金或喷碳处理。
3、请务必说明制样目的,透射样品制备只保证切出的样品厚度可以拍透射,不一定满足球差电镜要求。
 
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项目介绍
FIB是一种利用电透镜将离子束聚焦成非常小尺寸的显微切割仪器,主要用于高精度的纳米加工和分析。FIB通过将高能离子束聚焦到样品表面,实现对材料的精确加工和分析。
可以实现:
(1)TEM制样:获取材料的高分辨率内部结构信息,常用于半导体、陶瓷、金属合金等的切割。
(2)球差制样:提供更高的空间分辨率,从而获得更清晰的原子级别图像,常用于半导体、陶瓷、金属合金等。
(3)剖面分析:通过对材料进行截面切割和观察,了解材料的内部结构、成分分布以及界面特性,主要应用于电池、金属、复合材料等。
样品要求
1、固体、块体长宽最好小于10mm,高度小于5mm;粉末样品尺寸至少在3微米以上才能进行FIB制样。
2、样品要求导电性良好,如果导电性比较差的话需要进行喷金或喷碳处理。
3、若样品含有磁性元素,请务必提前告知,确认是否可以制样。
结果展示
常见问题
1. FIB TEM制样流程是什么?
1)定位:找到目标位置; 2)沉积:表面喷Pt保护; 3)挖槽:把目标位置前后两侧挖空,剩下目标区域; 4)减薄:机械纳米手将薄片取出,离子束减薄至目标厚度; 5)取样:将样品焊到铜网上的样品柱上。 注意事项:制备好的样品,需要装在自吸附盒里,避免强烈碰撞导致样品从样品柱上脱落,一旦脱落,样品无法找回。
2. FIB制样可能引入什么杂质?
Pt和Ga,其中Pt是为了保护减薄区域,Ga是离子源。如果样品不导电可能喷Au或者喷C,从而引入这两种元素。
咨询热线
18700919747