性能指标

主要功能
抗振测量:采用自研抗震算法,无需隔振平台,可在较恶劣的环境下实现测量,能有效抑制环境振动对测量精度的影响。
高精度测量:设备由高稳定干涉测量光学系统与高精度相位测量软件组成,配备稳频激光器,采用精确装配及标定技术,特有的相移算法可实现动态相位的快速、高精度解调。
数据处理:测量软件具备丰富的误差分析、数据处理报告生成等功能,4 寸动态干涉仪通过对基于空域和时域测量数据的融合,实现高精度表面误差的提取。
抑制杂散条纹:配置短相干光源,可分离不同表面相干光干涉产生的干涉条纹,解决因标准球面镜头表面反射光与测试光形成干涉而出现杂散条纹的问题,提高测量准确性。