电子光学：采用肖特基场发射电子枪，加速电压为 1kV-30Kv，放大倍数为 12-1,000,000 倍，电子束束流不小于 20nA 并连续可调。

分辨率：高真空模式下，15kv 下优于 1.2nm，1kV 下优于 3.0nm。

样品台：五轴全自动马达驱动，行程为 X≥100mm，Y≥10mm，Z≥50mm。

图像处理及系统控制：最大像素不低于 3072×2304，可保存 TIFF/BMP/JPEG 格式。

1、电镜性能

分辨率：二次电子分辨率为 1.0nm（15kV）、2.0nm（1kV）；背散射电子分辨率为 3.0nm（15kV）。

电子枪：冷场发射电子源。

加速电压：0.5~30kV（0.1kV / 步，可变）。

放大倍率：×30~×800,000。

2、谱性能

元素分析范围：Be4~U92。

能量分辨率：Mn Ka 优于 129eV。
主要功能

高分辨率成像：采用新开发的高亮度电子枪和透镜系统，可迅速便捷地提供高品质的高分辨率图像，即使对实时图像，也能轻松地在 CCD 图像上从寻找视野迅速过渡到高倍率（×100,000）进行观察。

Live Analysis 功能：在观察屏幕上可以随时显示分析区域内的特征 X 射线谱图以及自动定性的主要构成元素，不必再分别考虑高倍率观察和 EDS 分析，提高了元素分析效率。

数据管理：SMILE VIEWTM Lab 是一个完全集成的数据管理软件，能对与样品台坐标关联的 CCD 图像、SEM 图像、EDS 分析结果等数据进行统一管理，并可快速生成报告。

面分布分析：高亮度电子枪能提供稳定的探针电流，可从容应对大区域的长时间面分布或整夜运转仪器检查全部数据的工作。